Kvalitet čipa u procesima proizvodnje poluprovodnika se obično definiše kao smanjenje varijabilnosti oko cilja, ili drugim rečima, koliko dobro se distribucija postavlja između donje i gornje specificirane granice. Kritičan za kvalitet (CTQ) i usklađenost sa zahtevima kupaca takođe igraju značajnu ulogu. Prevelika varijabilnost u proizvodnji brzo se pretvara u probleme kvaliteta proizvoda. Da bi se obezbedilo stabilno snabdevanje tržišta dobrim proizvodima, potrebne su temeljne metrike kvaliteta i kontrola procesa. Jedan važan deo kvaliteta proizvoda i proizvodnje je hemija. Postrojenja za poluprovodničke pločice troše tone hemikalija tokom celog procesa proizvodnje. Ponovljivost i reproduktivnost svakog procesa su glavna briga fabrika, a čak i najmanje odstupanje od specifikacije može dovesti do skupe kontaminacije opreme i otpadaka pločice.

U nastavku možete pogledati neke od uređaja koji su povezani sa ovim tipom merenja.